클린룸 시공에서는 대형 장비와 주 경로를 다루는 외부공조(중앙공조 및 메인 간선 덕트)를 먼저 설치한 후, 클린룸 내부의 말단 설비를 연결하는 내부공조(FFU, 헤파박스 및 실내 덕트 등)를 시공하는 것이 일반적인 순서입니다.
1단계: 외부공조 및 메인 설비 선행
기계실 장비 설치: 공조기(AHU), 냉동기, 칠러, 외기(O.A.) 도입부 및 배기(E.A.) 배출구 등 대형 공조 장비가 먼저 자리를 잡습니다.
메인 덕트 및 배관 공사: 건물 외곽이나 기계실에서 클린룸 구역으로 대용량의 공기를 보내는 메인 간선 덕트와 대형 배관의 경로를 확보하고 우선적으로 시공합니다.
2단계: 클린룸 골조 및 패널 공사
외부공조의 메인 라인과 구조물이 간섭되지 않도록 주의하며, 클린룸 벽체(샌드위치 패널), 천장재(플레넘 덱), 방진문 등이 설치됩니다.
3단계: 내부공조(실내 말단 설비) 후행
천장 유닛 설치: 클린룸 내부 천장에 청정 공기를 공급·순환시키는 FFU(Fan Filter Unit), HEPA/ULPA 필터 박스가 설치됩니다.
분기 덕트 및 디퓨저 연결: 선행된 외부공조 메인 덕트에서 갈라져 나오는 분기 덕트(Branch Duct)와 실내 취출·흡입구를 내부 유닛들과 정밀하게 연결합니다.
이러한 순서는 대형 공조기의 토대와 메인 송풍 경로가 먼저 잡혀야 내부 공간의 세부적인 기밀 유지 및 FFU 배치 위치를 오차 없이 맞출 수 있기 때문입니다.