과업지시서

 

특성화대학 교육실험실 환경개선(클린룸 유틸리티 시스템) 구축

 

 

(경북대학교)

 

 

 

 

 

 

 

2024. 08.

 

 

 

 

 

 

 

- 목 차 -

 

ⅠIT 3호관 UTILITY SYSTEM

1. 과업의 개요 3

2. 과업목적 3

3. 과업 주요내용 3

4. 일반사항 4

5. 기타 조건 13

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ⅠIT 3호관 UTILITY SYSTEM

 

1. 과업의 개요

과 업 명 : 경북대학교 반도체특성화대학사업단 「특성화대학 교육실험실 환경개선(클린룸 유틸리티 시스템)」설치

사업위치 : 수요기관 지정장소
대구광역시 북구 대학로 80번지 경북대학교 캠퍼스 내

납품기간 : 계약일 후 100일 이내

소요예산 : 금 489,346,000원 이내 (VAT 포함)

 

2. 과업 목적

경북대학교 산학협력단 「특성화대학 교육실험실 환경개선(클린룸 유틸리티 시스템)」설치 사업으로 IT 대학 3호관 크린룸 내 공정 및 분석 장비에 사용하는 노후화된 Utility System 의 CAPA UP 하여 공급함으로서 공정 및 분석장비의 동시가동율 및 공정효율을 높이기 위한 Utility System 구매.

 

3. 과업 주요내용

설치장소

1) 경북대학교 IT 대학 3호관

(대구광역시 북구 대학로 80번지 경북대학교 캠퍼스내)

설치범위

1) N2 Purifier 반입, 설치 및 In, Out let 가스 배관공사

- Gas Purifier 제작 및 설치

2) CDA System 반입, 설치 및 In, Out let 배관공사

- Compressor, Receiver Tank, Air Dryer, Desiccant Air Dryer, Filter 제작 및 설치

3) PCW System 반입, 설치 및 In, Out let 배관공사

- Chiller, Tank, CDU, Pump, Filter Housing 제작 및 설치

4) DIW System 반입, 설치 및 In, Out let 배관공사

- RO Unit, Tank, EDI Unit, Pump, Filter Housing 제작 및 설치

5) Exhaust System

- Fan 제작 및 설치

 

 

4. 일반 사항

관계법규 및 인허가 사항

1) 모든 공사는 관계법규를 준수하여 시공하고, Utility System 제작에 수반하여 발생되는 모든 인허가 업무는 수급자가 이행해야 하며, 소요되는 비용은 수급자가 부담하여야 한다.

적용 및 우선

1) 모든 공사는 설계도면 및 본 시방서를 준하여 시공하며, 서로 상이한 부분이 있을 시에는 본 시방서를 우선한다.

2) 규격서 및 설계도면의 표기방법이 불명확하거나, 이의가 생겼을 때에는 건축설비공사, 표준규격서 (기계 부문), 한국공업규격 관계법규 및 조례 등을 준용하며, 해석상의 이의가 발생할 경우에 감독원의 해석에 따라야 한다.

3) 본 공사는 설치 및 시운전 등을 포함한다.

4) 본 공사에 대한 설계도서가 관계법령과 상이한 부분이 있을 경우에는 관계 법령에 따라 시공하여야 하며, 공사기간 중 관계법령이 개정될 경우에는 개정되는 법령에 따라 설계 변경하여야 한다.

안전관리 및 재해방지

1) 착공 전 안전관리 책임자를 선임하고, 그 명단을 제출하여야 하며, 안전 및 재해방지에 만전을 기하여야 한다.

2) 수급자는 공사 중에 발생된 안전 및 재해 사고에 대하여 모든 책임을 지며, 손해를 입혔을 경우에는 즉시 변상하여야 한다.

3) 공사시공에 화기를 취급할 경우 (유사경우 포함) 초기 진화용 소화기 등을 배치하여 공사에 임하여야 하며, 화재예방 및 안전에 철저를 기하여야 한다.

4) 기타 감독원의 지시사항 준수

사용자재 및 기기

1) 모든 자재 및 기기는 KS 표시품 사용을 원칙으로 하고, KS 표시 품이 없는 품목에 대하여는 관계관공서의 공인규격품 또는 KS 규격에 준한 제품이어야 한다.

2) 국내생산이 불가능하거나 성능보장이 필요하다고 인정되어 외산자재를 사용할 경우에는 산정사유서, 카타록 및 기술사양서를 감독원에 제출하여 승인을 득하여야 한다.

3) 기타 모든 사용자재는 감독원에 견본을 제시하여 사용승인을 득한 후 동일한 제품을 반입 시공하여야 한다.

4) 본 규격서 에 명기되지 않은 사항은 자재구입 시방서 및 기술사양서에 준한다.

5) 도면 및 시방서에 명기된 사용자재 및 기기류 에 대하여 설계당시보다 성능이 우수한 신개발품 및 개선제품은 감독원의 승인을 받아 설계변경 할 수 있다.

해체재 및 발생재의 처리

1) 공사장 내에서 발생하는 각종 발생품, 설계서에서 공제하지 않은 관급자재에 대한 발생품 및 기존 건출물 또는 기존공작물 등의 해체로 발생되는 재료 및 물품 등은 모두 담당원이 지정하는 현장내의 장소에 정리보관하고, 불필요하다고 인정하는 것은 즉시 장외로 반출한다.

2) 해체 및 발생재료의 처분 또는 재사용에 대하여는 감독원의 지시에 따른다.

공사 현장 관리

1) 공사현장의 관리는 관계법규에 따라 이행한다.

2) 공사현장은 항상 기기 및 재료 등을 깨끗하게 정리하고 청소하며 화재, 도난, 기타 사고방지에 최선을 다하여야 한다.

3) 공사관계자 및 제3자에게 피해가 미치지 않도록 안전, 위생관리 및 공해방지에 노력하여야 한다.

4) 오염되기 쉽거나 손상될 염려가 있는 기기, 재료 및 설비는 적절한 방법으로 보호하여야 한다.

5) 공사가 끝났을 때에는 가설물 등을 신속하게 철거하고, 청소 및 뒷정리를 해야 한다.

6) 시험 및 검사에 합격한 기기 및 재료는 감독원이 지시하는 장소에 정리하여 보관하고, 불합격품은 지체 없이 공사장 밖으로 반출하여야 한다.

7) 지급자재를 인도할 때에는 감독원의 입회하에 검수하여서 수급자의 책임 하에 보관하고, 도난 및 훼손될 경우 수급자가 즉시 변상하여야 한다.

 

공정 관리 및 보고

1) 공사의 세부공정계획을 수립하여 감독원의 확인을 받아야 하며, 공정 계획서는 시공순서, 방법, 공사용 기기, 기구 등의 내용이 포함되어야 한다.

2) 공사의 진행, 동원인원 및 기자재 현황 등을 작성하여 감독원에게 제출하여야 한다.

제작 도면 및 시공도

1) 수급자는 현장 확인 후 시공 설계가 완료되면 발주처에 설계 및 시공에 대한 충분한 설명과 도면을 제공해야 하며, 설계 승인 후 실제 공사를 진행한다.

설계 변경

1) 시공상, 용도변경 및 기타 불가피한 경우로 인하여 주요계통에 영향을 미치는 설계변경사항이 발생할 경우에는 감독원의 승인을 득하여야 한다.

2) 설계 변경시에는 설계변경사유, 설계변경도서 및 공사비증감 내역서등을 제출하여 감독원의 승인을 득하여야 한다.

3) 현장여건상 발생되는 경미한 변경은 감독원의 지시에 따라 수급자의 부담으로 시공한다.

시험 및 검사

1) 시험 및 검사의 방법은 관계법규, 한국공업규격 기타 준용기준이 있을 때에는 그것에 따른다.

2) 관공서 및 공공단체의 시험 및 검사를 필요로 하는 것은 그 시험 및 검사에 합격하여야 한다.

3) 공정 중 특기사항에 명시되었거나, 각 공사의 공정에 따라 감독원이 지시하는 단계에서는 반드시 기기, 재료시공에 대한 시험 및 검사를 행한다.

4) 모든 시험 및 검사는 감독원이 지시하는 바에 따라 시행하며, 제반비용은 수급자 부담으로 하고, 당해시험 및 검사 후 다음 공정에 임하여야 한다.

 

최소 요구 규격 (* 아래 규격 이상의 물품 납품 가능)

1) N2 Purifier

해당 N2 purifier의 Catalyst & Adoxber는 N2 정제를 위해 사용됨.

정제기는 질소 가스에 대해 최대 8.5bar,G (약 123psig)의 압력이 가능함

해당 purifier의 내부표면은 전기폴리싱 처리가 되어야 함.

해당 purifier는 주요 불순물을 화학적으로 처리할 수 있어야 함.

- 기본 사양

 

Install Dimensions(WxDxH)	About 1100*900*2300
Flow Rate(Respectively)	1~20Nm3/hr
Operation Pressure	Max. 8.5bar,G(about 123psig).
Design Pressure	Max. 9.8bar,G(about 142psig).
Room Temperature	5℃~35℃
Operating Temperature	5℃~35℃
Inlet connection	MAX. 35℃
Outlet connection	1/2" VCR
Tank type	1/2" VCR
Hazardous Area classification	None
Controller	PLC and Touch Screen

 

 

- Utilities

 

Install Power	AC220V, 1phase, 30A
Instrument Gas(Air)	1/4", 5~7barg
Regeneration Gas	Self N2 Gas 40 ~ 50slpm, H2 Regen Gas 2 ~ 5slpm.

 

 

- Performance

 

Division	Inlet	Outlet
H2O	< 2 ppm	< 0.1 ppm
O2	< 2 ppm	< 0.1 ppm
Paticle	< 0.0 ppm	< 0.1 ㎛

 

 

2) CDA System

- 수량

① Air Compressor ( 2 Set)

② Air Receiver Tank ( 1 Set)

③ Air Dryer ( 1 Set)

④ Desiccant Air Dryer ( 1 Set)

⑤ Filter ( 2 Set)

- Basic Specification

① Air Compressor ( 1 Set)

* Type : Oil Free Rotary Screw

* Capacity : 2.6 ㎥/min

* Working Pressure : 9.0 barg

* Motor : 30kW(40HP), 380V, 3PH, 60Hz

 

② Air Receiver Tank ( 1 Set)

* Capacity : 0.5㎥

* Design Pressure : 9.7barg

* Material : SS400 (Epoxy Coating)

 

③ Air Dryer ( 1 Set)

* Type : Refrigeration

* Capacity : 2.6㎥/min

* Working Pressure(MAX) : 9.7barg

 

④ Desiccant Air Dryer ( 1 Set)

* Type : Heatless purge

* Capacity : 3.6N㎥/min

* Working Pressure(MAX) : 9.7barg

 

⑤ Filter ( 2 Set)

* Capacity : 5.0N㎥/min

* Filtration : 0.1㎛

 

-Pipe line 구성요소

① Manual Valve, Check Valve, Fitting, Pressure Gauge 등

② Part Body : SUS 304 Acid Cleanning 구성.

 

3) PCW SYSTEM

- 수량

① PCW 자동냉각기 ( 1 Set)

② DIMENSION(실외기) ( 2 Set)

③ CIR-PUMP ( 2 Set)

④ PROCESS PUMP ( 3 Set)

⑤ PCW TANK ( 1 Set)

⑥ PCW FILTER HOUSING ( 1 Set)

 

- Basic Specification

① PCW 자동냉각기 ( 1 Set)

* COMPRESSOR 15KW x 2

* 실외기 CONDENSER V형 25R/T x 2

* DIMENSION(실내기) 1100W x 2000D x 1825H

 

② DIMENSION(실외기) ( 2 Set)

* 920W x 2400D x 1200H

 

③ CIR-PUMP ( 2 Set)

* 2.2KW (CRN32-1)

 

④ PROCESS PUMP ( 3 Set)

* 600LPM * 7bar

 

⑤ PCW TANK ( 1 Set)

* SUS304 V = 3000L

 

⑥ PCW FILTER HOUSING ( 1 Set)

* 600LPM

 

- Pipe line 구성요소

① Manual Valve, Check Valve, Fitting, Pressure Gauge 등

② Part Body : SUS 304 Acid Cleanning 구성.

 

4) DIW SYSTEM

- 수량

① Filter ( 5 Set)

② Softener ( 1 Set)

③ Filtered Water Tank ( 1 Set)

④ RO Feed Pump ( 2 Set)

⑤ RO High Pressure Pump ( 2 Set)

⑥ Reverse Osmosis(R/O) Unit ( 1 Set)

⑦ D.I. Water Tank ( 1 Set)

⑧ D.I. Water Pump ( 2 Set)

⑨ UV Sterilizer ( 1 Set)

⑩ Mixed Bed Deionizer ( 2 Set)

⑪ Mixed Bed Polisher ( 2 Set)

⑫ Skid Manufacturing ( 1 Set)

 

- Basic Specification

① Filter ( 5 Set)

* 25㎛-Micro Filter

* Activated Carbon Filter

* 5㎛-Micro Filter

* 5㎛-Micro Filter

* Vent Filter

 

② Softener ( 1 Set)

* Φ370x1,660H, Cation Resin 100ℓ, Tank: FRP

 

③ Filtered Water Tank ( 1 Set)

* Φ1,420x1,420HxPE, 2㎥/cap

 

④ RO Feed Pump ( 2 Set)

* 3.0㎥/hrx40mHx1.1kwxSTS304, Vertical Type

 

⑤ RO High Pressure Pump ( 2 Set)

* 3.0㎥/hrx130mHx3.0kWxSTS304, Verical Type

 

⑥ Reverse Osmosis(R/O) Unit ( 1 Set)

* Product Flow : 2.2㎥/hr, Recovery Rate : Up to 75%

* Membrane : PA, 4"x40"x9pcs

* Acc'y : Flow Indicator, Conductivity Meter, P/G etc

 

⑦ D.I. Water Tank ( 1 Set)

* Φ1,200x1,800HxFRP, 2㎥/cap

 

⑧ D.I. Water Pump ( 2 Set)

* 2.4㎥/hrx50mHx1.1kWxSTS316, Verical Type

 

⑨ UV Sterilizer ( 1 Set)

* max. for Disinfection :2.4㎥/hr, Dowon:HS-25

 

⑩ Mixed Bed Deionizer ( 2 Set)

* 254Φx1,372H, FRP, MB Resin:50ℓ/each

 

⑪ Mixed Bed Polisher ( 2 Set)

* 254Φx1,372H, FRP, MB Resin:50ℓ/each

 

⑫ Skid Manufacturing ( 1 Set)

* about 2,500Wx6,500Lx3,000H

 

 

- Pipe line 구성요소

① Manual Valve, Check Valve, Fitting, Pressure Gauge 등

② Part Body : SUS 304, CLEAN PVC 구성.

 

5) EXHAUST System

- 수량

① EXHAUST FAN ( 2 Set)

 

- Basic Specification

① EXHAUST FAN ( 2 Set)

- 100CMM*150mmAq*5.5kw(7.5hp)

 

- Pipe line 구성요소

① DAMPER 등

② Part Body : SUS304 구성

 

 

6) HOOK-UP

Utility System 및 Utility System Hook Up 제작납품 및 현장설치(앙카시공) 포함이며, Process Gas Line의 연결 및 공급 장치에서 실험장비까지 공급 Line의 청정 및 안정성을 유지하여 공급할 수 있도록 도급자를 지원해야 하며, 아래 사양의 System 구성품과 연결되어 안정적이고 충분한 성능을 발휘해야 한다.

 

- 일반적 원칙

Hook-up 관련 설계는 아래와 같은 원칙을 기본으로 하며, Particle 발생과 오염에 대한 문제가 일어나지 않도록 한다.

① Minimizing Partilcle Present : ≤ 1EA/0.1㎛

② Minimizing Particle Generation

③ Minimizing The Deadspace In The Design

④ Minimizing The Outgassing From Polymers and Metal Surfaces

⑤ Minimizing Atmospheric Contamination

⑥ Minimizing Leak : ≤ 1×10-9CC/sec

- Hook-up Line

① Process Line : SUS316L EP, SUS304 A/C, Clean PVC

② Process Nozzle : SUS316L EP 1/2", 1/4“, Diaghram Valve, SUS304 A/C 15A ~ 50A, Clean PVC 15A ~ 50A

- Process 배관 시공은 크린룸 상부에 미관상 문제가 없도록 설치해야 한다.

- Process 배관 시공 시 실험장비 부근 3M 이내까지 설치(T분기 포함)하는 것을 원칙으로 하고, 말단에 연장가능토록 Valve를 설치해야 한다.

- Part Specification

① Valve

* Diaghram Valve, Ball Valve : PARKER, TKF(SUS316), 화성(SUS304), Sekisui/Asung(Clean PVC) 동등이상

* Body : SUS316L EP, SUS304 Acid Cleanning, Clean PVC

* Seat : PCTFE or P1

② Fitting

* 종류 : Tee, Elbow, Long Gland, Female Nut, Male Nut, Gasket 등

* Maker : KUZE, PARKER, TKF, ASFLOW, 화성, Sekisui/Asung 동등 이상

* Size 및 재질 : SUS316L EP, 1/4“, 1/2”, SUS304 A/C, 15A ~ 50A, Clean PVC 15A ~ 50A

* RMAX. : ≤ 0.7 ㎛

③ Pipe

* Size 및 재질 : SUS 316L EP (SEAMLESS, 25A)

* Maker : KUZE, VALEX, ASFLOW 동등 이상

* RMAX. : ≤ 0.7 ㎛

 

5 . 기타 조건(Remarks)

 

장비 설치 및 검사

1) 계약/공급자는 성능향상에 필요한 가장 최신∙최적의 부품∙장비를 공급하여야 한다.

2) 계약/공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반 경비 및 준비사항을 부담하여야 한다.

3) 검사방법은 발주처와 사전협의한 검수서에 따라 지정한 장소에 장비설치 후 실시한다.

4) 계약/공급자는 발주에서부터 입고, 설치 및 운용 교육까지 제안범위 내의 장비를 일괄 납품 하여야 한다.

5) 최종 검사 결과 시스템 운영이 불가하다고 판단되거나 장비의 하자 발생으로 계약조건을 이행하지 못하는 것으로 판단될 시 발주처의 요구에 의해 공급처는 납품 및 설치한 모든 장비를 철거 및 회수, 복구해야 하며 그 비용은 공급처의 부담으로 한다.

6) 모든 제출된 자료는 카타로그 및 제조사에서 이미 공급된 사례를 통한 공식적인 자료만 신뢰할 수 있는 자료로 인정이 되며 이를 위한 판정은 메이커발행 공식 카탈로그, 웹사이트, 기존 공급 장비 실사 등을 통해 이루어 질수 있다. 아울러 제출된 기타자료와 사실을 근거로 한 내용은 요구장비 사양, 조건 대비 경북대학교 IT 대학에 의해 모든 적합성 여부가 판정된다.

 

교육 및 기술지원

1) 계약/공급자는 납품설치 후 2회 교육을 실시하고 필요에 따라 사전 협의하여 발주처 장비

담당자에게 장비운영, 유지보수교육을 추가로 실시한다.

2) 시스템 운영/유지보수 매뉴얼, 설비 교육자료(한글) 각 1부씩 제공하여야 한다.

3) 교육일정 세부 계획서 1부를 제출하여야 한다.

4) 교육 방법 : 현장 설명 및 시연, 실무 연습

 

무상보증

1) 무상 유지보수 기간은 본 시스템 검수 완료일로부터 3년으로 하며, 무상보증 기간 내에 발생 하는 고장과 관련하여 무상으로 수리 한다.(단 사전고지한 사용자의 잘못으로 인한 고장 제외)

2) 무상보증 기간 내 유지보수

- 무상보증 기간 : 3년

- 무상보증기간 내 정기점검 : 이상시 방문 무상처리

- 대응 시간 : 이상 발생 후 5일내에 대체장비 대여 및 수리품 회수. 단 대체 장비/부품 수급 지연에 있어 합당한 사유가 존재할 경우, 상호 협의하에 일정 조정 가능

 

납품기한 및 납품장소

1) 계약 후 100일 이내에 구매 장비의 설치를 완료한다.

2) 설치장소 : 경북대학교 IT 대학 3호관 기계실(B07)

 

공사 범위

1) 발주처(경북대학교)

- 설치환경(유틸리티) : 1차 전기, 1차 급수는 발주처에서 제공한다.

2) 공급처

- 발주처가 정한 설치 장소 까지 운송 후 본체, 부속장치 연결 및 시운전의 일련의 과정

- 필요한 유틸리티 및 이와 관련해 발주처에서 준비가 필요한 사항은 사전 통보

- 설비 반입과 관련한 제반 사항은 공급처에서 진행

- 기타 장비운전 및 구매 규격서에 명시된 필요 제반사항

 

장비인증 및 증빙자료

1) 본 장비의 원활한 운용과 관리 등을 위해 부품의 인증이 가능한 항목은 모두 인증을 받아야 하며, 이에 대한 증명서와 발주처에서 추가적으로 요구하는 관련 증빙 자료는 반드시 제출하여야 한다.

 

 

하자보증

1) 납품검수 후 하자담보책임기간은 3년으로 한다.(단 사전고지한 사용자의 잘못으로 인한 고장은 예외)

2) 공급처의 설계 및 오류 등으로 인한 부품하자 등에 관하여는 무상보증 수리기간 이후에도 공급처에서 무상으로 수리하여야 한다.

 

보안유지

1) 공급처는 발주처에서 요구한 사양 및 정보 등에 대하여 보안을 유지하여야 한다.

2) 상기 사항을 타 기관에 제공할 때는 발주처의 승인을 득하여야 한다.

 

기타사항

1) 공급처는 현장에서 발생할 수 있는 모든 안전사고 및 피해를 사전에 방지하여야 하며,

공급처 관리 소홀로 인한 사고 발생 시에는 공급처가 모든 민사적․형사적 책임을 진다.

2) 동 규격서에 명시되지 않은 사항에 대한 처리는 일반 상관례에 따라 발주처와 공급처

(계약 당사자) 쌍방이 서로 협의하여 우호적으로 처리하는 것으로 한다.

 

자격사항

1) 가스 시설 시공업 제1종 면허 보유

2) 기계설비 공사업 면허 보유

 

관련법규

1) 고압가스 안전 관리법, 시행령, 시행규칙

2) 산업안전 보건법, 시행령, 시행규칙

3) 연구실 안전 환경 조성에 관한 법률, 시행령, 시행규칙