ISO 14644-3은 청정실의 성능을 시험하는 방법에 대한 국제 표준이므로, 청정실이 필수적인 모든 제조 공정에 적용됩니다.

이 표준을 준수해야 하는 주요 산업 분야와 제조 공정은 다음과 같습니다.

 

 

[사진. 1] 클린룸의 ISO1, ISO2, ISO3, ISO4, ISO5, ISO6등급과 허용되는 0.3미크론 크기의 입자갯수

 

반도체 및 전자 산업

 

반도체는 미세한 회로를 사용하므로, 아주 작은 입자라도 치명적인 결함을 유발할 수 있습니다. 따라서 이 분야는 ISO 클래스 1~3과 같은 가장 엄격한 청정 등급을 요구하며, ISO 14644-3의 시험 방법은 필수적으로 적용됩니다.

• 웨이퍼 제조: 포토리소그래피, 식각, 증착 등 웨이퍼 가공 공정 전반에 걸쳐 공기 중 입자를 엄격하게 제어해야 합니다.

• 정밀 전자 부품 제조: 디스플레이, 하드디스크 드라이브, 마이크로렌즈 등 미세 먼지에 민감한 부품 제조 공정에도 적용됩니다.

 

의약품 및 의료기기 산업

 

의약품의 오염은 환자의 건강과 안전에 직접적인 영향을 미치므로, 무균 환경 유지가 가장 중요합니다. ISO 14644-3은 **GMP(Good Manufacturing Practice)**와 같은 관련 규정 준수를 위한 기초가 됩니다.

• 무균 의약품 제조: 주사제, 백신 등 멸균이 요구되는 의약품 생산 공정.

• 의료기기 제조: 수술용 임플란트, 카테터 등 인체에 삽입되는 멸균 의료기기 제조 공정.

 

생명공학 및 연구 분야

 

생명공학 분야에서는 미생물이나 세포 배양 등 미세한 오염물질에 의해 실험 결과가 왜곡될 수 있으므로, 청정실 환경이 필수적입니다.

• 세포 배양: 외부 오염 없이 특정 세포를 배양하고 증식시키는 공정.

• 유전자 치료제 생산: 고도로 민감한 유전자 물질을 다루는 공정.

 

 

ISO 14644-3에 명시된 시험 방법은 다음과 같습니다:

• 공기 차압 시험 (Air Pressure Difference Test): 청정 구역과 외부 환경 또는 인접 구역 간의 압력 차이를 측정하여 공기 흐름을 제어하는 능력을 확인합니다.

• 기류 시험 (Airflow Test): 청정 구역 내 공기의 속도와 균일성을 측정합니다.

• 기류 방향 시험 및 가시화 (Airflow Direction Test and Visualization): 청정 구역 내 공기 흐름의 방향을 확인하고, 시각적으로 흐름을 보여주는 시험입니다.

• 회복 시험 (Recovery Test): 오염원이 유입된 후 청정 구역이 원래의 청정도 수준으로 돌아오는 데 걸리는 시간을 측정합니다.

• 온도 시험 (Temperature Test): 청정 구역 내의 온도가 요구되는 기준을 충족하는지 확인합니다.

• 습도 시험 (Humidity Test): 청정 구역 내의 습도가 요구되는 기준을 충족하는지 확인합니다.

• 필터가 설치된 시스템의 누설 시험 (Installed Filter System Leakage Test): HEPA 또는 ULPA 필터와 그 설치 부위에서 공기 누설이 없는지 확인합니다.

• 외부 오염물의 청정 구역 유입 평가 (Evaluation of the ingress of contaminants from outside the cleanroom): 외부 공기나 오염원이 청정 구역 안으로 유입되는지 평가합니다.

• 정전기 및 이온 발생기 시험 (Electrostatic and Ionizer Test): 정전기 및 이온 발생기의 성능을 확인하여 오염 입자의 흡착을 방지하는지 평가합니다.

• 입자 침착 시험 (Particle Deposition Test): 공기 중의 입자가 표면에 얼마나 많이 침착되는지 측정합니다.

• 격리 시험 (Containment Test): 청정 구역이 외부 환경에 대해 얼마나 효과적으로 오염 물질을 격리하는지 평가합니다.